免助焊劑回流爐
所在地區(qū): | 上海-- | 發(fā)布日期: | 2022年1月25日 |
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競爭性談判公告
一、貨物需求
設備名稱 | 數(shù)量 | 交貨期 | 交貨地點 | 交貨方式 | 付款方式 |
免助焊劑回流爐 | 1臺 | 4個月 | 江蘇省無錫市惠河路5號 | CIP 上海 | L/C(略)%((略)%到貨+(略)%驗收) |
二、技術部分:
1 主要用途
用于扇出型集成工藝中晶圓表面凸點的回流
2 功能要求
免助焊劑回流爐主要用于晶圓植球后的回流。使用新型助粘劑替代助焊劑,助粘劑具有固定錫球的作用,在植球過程中固定住錫球位置,回流時經(jīng)過高溫揮發(fā)排出。并且在植球后不需要助焊劑清洗。
3 動力條件/環(huán)境條件
電:(略)
壓空:(略)
氮氣:(略)
真空:(略)
冷卻水:(略)
排風:(略)
4 主要技術性能指標
★4.1適用晶圓尺寸:(略)
★4.2溫控精度≤±2℃
★4.3含氧量控制:(略)
★4.4最高溫度:(略)
★4.5使用甲酸或氫氣進行氧化物的還原
4.6翹曲要求:(略)
4.7機臺類型:(略)
4.8厚度要求:(略)
5 配件及備件配置要求
5.1 參數(shù)三級密碼管控
5.2 程序數(shù)量≥(略)組
5.3 具備設備操作信息、報警信息自動存儲功能
5.4 具備統(tǒng)計功能,包含開機時間、自動作業(yè)時間、作業(yè)片數(shù)等
5.5 具備真空實時偵測功能
5.6 安全門自鎖功能,安全門沒有關上或沒有關到位設備不可以運行
5.7 支持SECS/GEM功能
6 驗收要求
6.1 設備調試正常后,由雙方技術人員依據(jù)合同中驗收條款的規(guī)定,共同驗收。具體驗收程序和項目詳見 “主要技術性能指標”的內容。
6.2 設備在采購人現(xiàn)場的驗收為最終驗收,驗收合格后雙方簽署驗收報告。
6.3 應答人應在三個月內完成設備的安裝調試,如不能如期完成,可以再延長一個月,但超過一天應扣除合同總價的千分之五。如調試時間超過四個月還不能完成,采購人將該設備視為驗收不合格并作退貨處理。采購人應在應答人完成安裝調試后三個月完成驗收。
6.4 設備外觀配置驗收
6.4.1 設備到貨包裝完好,無明顯損傷,并具裝箱單、合格證書、使用說明書等。
6.4.2 設備外表符合供貨要求,銘牌標記與設備一致。
6.4.3 根據(jù)本技術協(xié)議設備的標準配置,逐項清點,確保配置齊全。
6.4.4 主機設備內部各個部件均為全新的,并有易損部件清單、備件號以及設備裝配圖。
6.4.5 設備安裝調試驗收單
6.5 設備運行驗收
6.5.1 設備空運轉,開\關機操作(略)次,設備啟動正常。
6.5.2 以雙方約定的樣品進行現(xiàn)場驗證,只有當所有樣品均可正常運行工作,并達到采購人的要求,才可以認為該設備運行正常。
6.6 安裝調試完成后進行設備工藝驗收,具體方案如下表:
序號 | 驗收項目 | 驗收條件 | 測量方法或工具 | 驗收標準 |
1 | 溫度測試 | (略)℃、(略)℃、(略)℃、(略)℃、(略)℃、(略)℃、(略)℃溫度測量,且各區(qū)溫度測量值在設定值±2℃以內為合格 | TC wafer與KIC測溫儀 | 連續(xù)測量(略)天,2次/天,各區(qū)溫度測量值在設定值±2℃以內 |
2 | 氧含量 | ≤(略)ppm | 氧含量分析儀 | 連續(xù)測量(略)天,2次/天,氧含量均≤(略)ppm視為通過 |
3 | 回流測試 | 1、Sn(略)Pb(略)成分凸點回流 2.、Sn(略)Pb(略)成分凸點回流 3.、SnAg1.8成分凸點回流 4、SAC(略)成分植球凸點回流 | 光學自動檢測儀、X-ray | 每種成分凸點8英寸與(略)英寸圓片各作業(yè)(略)片,回流后測量球高、球徑、剪切力滿足標準要求;X-ray掃描無空洞。 |
4 | 系統(tǒng)故障時間 | ≤5% | / | 以7天,(略)小時計; 驗收過程中若未發(fā)生故障,視為通過 |
5 | MTBF | 兩次失效間的平均間隔時間 >= (略) 小時 | / | (略)天內設備運行過程中若未發(fā)生失效,視為通過 |
7 質量保證及售后服務
7.1 質量保證:(略)
7.2 在保修期過后,賣方繼續(xù)向買方提供及時有效的售后服務和零備件供應,保證能提供長期的技術服務和維修服務,賣方應承諾保證零備件供應期不少于(略)年。賣方有義務給予買方維護的方便條件:(略)
8 運輸及包裝要求
賣方提供設備運至合同規(guī)定的最終目的地所需要的包裝,以防止設備在轉運中損壞或變質。這類包裝應采取國家或專業(yè)標準,包括防潮、防曬、防銹、防腐蝕、防震動及防止其他損壞的必要措施,從而保證設備能夠經(jīng)受多次搬運、裝卸及長途運輸
9 安裝調試要求
9.1應答人按合同提供全新原廠制造的整套設備;保證整臺設備能完成指定的工作任務。應答人應提供設備運至合同規(guī)定的最終目的地所需要的包裝,以防止設備在轉運中損壞或變質。這類包裝應采取國家或專業(yè)標準,包括防潮、防曬、防銹、防腐蝕、防震動及防止其他損壞的必要措施,從而保證設備能夠經(jīng)受多次搬運、裝卸及長途運輸。
9.2應答人應保證并承諾其提供的貨物是全新的,采用最新設計和合適材料制造的,并在各個方面符合合同規(guī)定的質量、規(guī)格和性能的原廠原裝產品。提供的零備件須與設備上的原件為同一品牌、同一型號規(guī)格。
9.3應答人在設備裝箱時,應附有一份與合同貨物完全相符的詳細的裝箱清單。貨物抵達后,雙方在現(xiàn)場開箱檢查,設備型號、數(shù)量、備件等應與裝箱單及合同相符,設備外觀無損傷銹蝕,標志清晰。如有不符,采購人應在開箱后 4 個工作日內向應答人提出異議。應答人確認后,須在 (略) 個工作日內完成退換貨或增補備件等工作。若對所發(fā)現(xiàn)的問題雙方持不同意見,可提請由第三方中國無錫出入境商品檢驗檢疫局檢查并出具相關證明。
9.4在貨到前一個月,應答人將提供采購人安裝現(xiàn)場的物理條件,如電源條件等。并提供改善安裝現(xiàn)場條件的建議。
9.5當采購人收到設備后,應妥善安放,并通知應答人派人安裝、調試的時間。安裝、調試由應答人負責。
9.6設備到達買方現(xiàn)場,應答人應在接到采購人通知后5個工作日內派遣經(jīng)驗豐富的工程師到現(xiàn)場安裝調試。應答人應負責正確指導設備的安裝、調試及試生產,要求在計劃的時間內達到正常生產能力,并及時提供合同規(guī)定的備品備件。
9.7驗貨時由買賣雙方共同開箱清點設備種類、數(shù)量,并檢查設備外觀、結構。
9.8設備安裝調試完后,由買賣雙方共同進行驗收。應答人提供校驗及驗收所需的全部標準品。
9.9應答人在采購人現(xiàn)場工作期間,采購人提供免費工作餐飲。其他費用自理
(略).聯(lián)系方式
采購 人:(略)
地址:(略)
聯(lián)系 人:(略)
電話:(略)
傳真:(略)
電子郵件:(略)
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